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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chun-Hui Chung".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="4H單晶碳化矽基板"


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    單晶碳化矽基板之鑽石研光與化學機械拋光 平坦化製程研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 陳鼎鈞 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
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